- 典型应用
- 特点和优势
- 规范
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典型应用
在半导体的CVD、真空溅射等方面具有广泛应用。
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特点和优势
耐高温--1800℃温度下正常使用
高热导性--和石墨材料的导热性相当
硬度高--硬度仅次于金刚石、立方氮化硼
耐腐蚀--强酸、强碱对其无任何腐蚀，抗腐蚀性优于碳化钨和氧化铝
重量轻--密度3.10g/cm3,与铝接近
不变形--极小的热膨胀系数
抗热震--该材料可承受急剧的温度变化，抗热冲击，耐急冷急热,性能稳定 -
规范
