- 典型应用
- 特点和优势
- 规范
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典型应用
悬臂浆性能稳定，在高温环境下不变形，晶圆装载量大，适用于机器人自动装置和搬运系统。
用于光伏产业的单晶硅、多晶硅涂层扩散炉。用于送载有硅片的硅舟或石英舟进入涂层扩散炉炉管内。
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特点和优势
由于悬臂桨截面稳定不变形，使得利用现有的炉管制备更大规格晶圆成为可能。悬臂桨与LPCVD涂层的热膨胀系数相近，应用于LPCVD，极大地延长了维护清洗周期，并大幅减少污染物。
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规范
