- 典型应用
- 特点和优势
- 规范
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典型应用
LED芯片制造中的PVD (Physical Vapor Deposition) 工艺，即物理气相沉积。
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特点和优势
高致密性
良好的导热性、低膨胀系数和均温性能
耐电浆冲击性
耐各种强酸强碱化学试剂腐蚀
经过半导体级别清洗 -
规范
