![RTA载盘](/static/upload/image/20230729/1690624239697488.jpg)
- 典型应用
- 特点和优势
- 规范
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典型应用
LED芯片制造中的RTA快速高温热处理工艺。
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特点和优势
优秀的导热性、低膨胀系数, 抗热冲击性佳。
耐电浆冲击性
耐各种强酸强碱化学试剂腐 -
规范
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LED芯片制造中的RTA快速高温热处理工艺。
优秀的导热性、低膨胀系数, 抗热冲击性佳。
耐电浆冲击性
耐各种强酸强碱化学试剂腐