RTA载盘

RTA载盘

碳化硅RTA载盘经等静压工艺成型、高温烧结而成。亦可根据用户设 计图纸要求进行外径、厚度尺寸,穴位数量、尺寸、取片槽位置和形状进行精加 工,以满足用户的具体使用要求。

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  • 典型应用
  • 特点和优势
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  • 典型应用

    LED芯片制造中的RTA快速高温热处理工艺。




  • 特点和优势

    优秀的导热性、低膨胀系数, 抗热冲击性佳。
    耐电浆冲击性
    耐各种强酸强碱化学试剂腐

  • 规范

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